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高純氣體管道中所有高潔凈的氣體均需通過(guò)管路輸送到儀器用點(diǎn)(POU)，為了達(dá)到儀器對(duì)氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。

對(duì)輸送高純氣體管道而言，其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體反應(yīng)、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。

氣體作用性
不同材料對(duì)氧的反應(yīng)性材料大氣中氧氣的反應(yīng)(ppm)不銹鋼管 O銅管 O聚丙烯管 1l聚四乙烯管 12普通鋼管 203 從表看到，對(duì)于輸送ppm級(jí)及更高純要求的氣體，從氣體潔凈度須選用316LBA不銹鋼管或者316LEP不銹鋼鋼管，如果我們不恰當(dāng)?shù)剡x用了不符合要求的管道材料，那么，無(wú)論我們采取什么凈化手段，都將是無(wú)濟(jì)于事的。


出氣速率
材料冶煉過(guò)程形成的管道材料晶間或者晶格內(nèi)部存在著某些雜質(zhì)，如氮、碳?xì)浠衔锏龋诟呒儦怏w輸送過(guò)程中，這些雜質(zhì)會(huì)緩慢地釋放出來(lái)，污染高純氣體，尤其是雜質(zhì)要求在ppb以上級(jí)的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率較低。


吸附性
由于水分等雜質(zhì)易吸附。橡膠、塑料或一些表面粗糙的材料易吸附水分等雜質(zhì)，使用這些材料輸送高純氣體易被污染，除了輸送ppm級(jí)以下的氧氣會(huì)使用紫銅管外，高純氣體都不采用銅管和塑料管，氣體會(huì)接觸到的墊片、填料也不得采用橡膠、塑料材料(包括聚四乙烯)。

表面粗糙度和耐磨性
為了確保輸送的氣體純凈度，要求管道材料內(nèi)表面有一個(gè)高的光潔度，這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留，可以在吹掃時(shí)比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨，可以在氣流高速?zèng)_刷下，產(chǎn)生的金屬粒子就少，不銹鋼比銅管產(chǎn)生粒子要少，所以不銹鋼管耐磨性?xún)?yōu)于鋼管。


抗腐蝕性
微電子生產(chǎn)中，經(jīng)常使用一些腐蝕性很強(qiáng)的氣體，這時(shí)須采用耐腐蝕的管材，否則管道會(huì)被腐蝕，輕則表面產(chǎn)生銹斑，重則管道大面積剝落、穿孔，不但污染氣體，還會(huì)發(fā)生危險(xiǎn)事故。


以上就是陽(yáng)泰祥為大家介紹的有關(guān)高純氣體管道安裝對(duì)配管和材質(zhì)有什么要求的分析，希望可以給大家提供參考。

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